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螺杆式真空泵的介绍

发布日期:2018-04-16

一、螺杆式真空泵的应用和特点:

螺杆式真空泵主要在半导体行业、化学工业、薄膜产业得到应用于发展。螺杆式真空泵的吸气和排气原理和大多数是一样的,是利用一对螺杆,在泵壳中作同步高速反向旋转而产生的吸气和排气作用的抽气设备。

螺杆式真空泵工作时,相互之间无摩擦,运转平稳,噪音低,工作腔无需润滑油,因此,螺杆式泵能抽除含有大量水蒸汽及少量粉尘。由于螺杆制成变螺距结构,与等螺距结构相比,极限真空更高,而消耗功率更低,具有节能,免维修等优点。它是油封式真空泵的更新换代产品。

二:螺杆式真空泵的冷却方式:

很多泵转子卡死的原因是吸入含有粉尘及结晶的物质、高温发生聚合的物质、热敏性物质的升华造成转子间的缝隙被堵死,另外一个原因是由于长期运转,转子会由于热胀冷缩而发生形变,造成泵的卡死。

三、抽除易燃易爆易腐蚀介质:

众所周知,腐蚀是由于溶液里的酸性离子和碱性离子跟金属发生反应才造成的,温度越高腐蚀的速率越快。一般的真空泵采用一些防腐材质或是在转子上做一些防腐涂层来延缓腐蚀速率。

但是由于螺杆式真空泵运行时内部存在苛刻的热条件,所以使用上述耐腐蚀材料来处理腐蚀性介质对无油螺杆式真空泵是不适合的。

此外使用铁剂金属高镀镍涂层材质,一旦出现细微的裂纹就会导致材料产生迅速的电化学腐蚀。那么是不是只要特殊设计能可靠地控制温度的设备把腐蚀性介质保持在气相状态,没有离子形式存在是不是就不存在腐蚀了?答案是肯定的。该泵应用其自身先进的冷却系统,可以调整泵腔内及转子的温度,使之没有离子形式存在,全都气化,从而避免腐蚀。所以此螺杆干式真空泵转子采用不锈钢,不做任何涂层,降低了成本,增加了安全性能。

评价爆炸有两个指标:可燃物质的闪点及燃点。因为螺杆干式真空泵中的两个螺杆在泵体内没有摩擦,所以不会产生电火花,就没有了火源,另外其通过自身的冷却系统降低泵内温度使被抽物质的燃点难以达到,从而杜绝爆炸!

四、螺杆式真空泵的密封

泵内既无与外界之间的轴封又无泵腔与冷却循环水回路之间的密封,因此可以抽除有毒有害介质。

绝大部分泵的故障都是由轴封处磨损造成的,而此泵每个轴只有一处无接触密封,不存在由轴封损伤带来的停机,以及轴封泄露造成齿轮箱里的油被抽到泵里,造成真空环境及排气口污染。

五、螺杆式真空泵特点:

1、结构简单紧凑:对旋向相反的螺杆、泵体、端盖、密封件等部件组成,结构简单,可靠,几乎不需要维修。
2、干式运行,无需任何工作介质,因此无油污染,无污水排放,节能减排效果显著。
3、抽气腔原件无摩擦:螺杆和泵体之间均有一定间隙。
4、真空度高:单台螺杆式真空泵可代替三级罗茨泵水环真空机组。
5、噪音低:一般情况下为80dB左右。
6、适宜抽除可凝性气体、含粉尘的气体等。
7、从大气抽至极限压力5Pa,只需一台单泵就能解决。
8、干式运行,溶酶回收更容易。
9、可与罗茨泵、水环泵等组成真空系统,以获得更高的极限真空和增大抽速。
10、进气口标配单项止回阀,防止气体回流。
11、提供两种防腐材料供选择:镍磷合金、特氟龙。





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