探讨罗茨真空泵压力和抽速受影响因素【非耀】

罗茨真空泵是一种容积泵，罗茨真空泵压力和抽速，对各种气体是不变的。对抽除分子量比氮气低得气体（He和H2）时，间隙泄漏量稍有增加就会引起抽速稍有下降。在入口压力为1-0.1hPa范围内有较大抽速，在较高压力和降低压力时，由于返流作用较大些，故抽速在此两者情况下稍微有些下降。

罗茨泵抽气腔内是干燥无油的，罗茨真空泵压力与选择的前级泵种类有关。受前级真空泵润滑油的蒸汽压力，以及齿轮箱、轴承处润滑油的蒸汽压力的影响。

在液环泵作为罗茨真空泵的前级泵时，罗茨真空泵压力和抽速，取决于水环真空泵使用的液体。水是通用的工作液体，水环真空泵压力为20-30hPa，它取决于供水的温度。罗茨真空泵机组压力可达到1hPa，是水环泵来的工作液所决定的。一般来说，用一台罗茨真空泵与单级前级泵组成为机组的情况较多，但要求有更高的压力和抽速时，常用多台罗茨真空泵串联后再加前级泵组成机组。

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